Ємнісний датчик тиску – це різновид датчика тиску, який використовує ємність як чутливий елемент для перетворення виміряного тиску в зміну значення ємності.Цей тип датчика тиску зазвичай використовує круглу металеву плівку або позолочену плівку як електрод конденсатора. Коли плівка відчуває тиск і деформується, ємність, що утворюється між плівкою та нерухомим електродом, змінюється, і електричний сигнал може бути вихід з певним співвідношенням між напругою через схему вимірювання.
Ємнісний датчик тиску належить до ємнісних датчиків зміни полярної відстані, які можна розділити на одинарний ємнісний датчик тиску та диференціальний ємнісний датчик тиску.
Одноємнісний датчик тиску складається з круглої плівки та нерухомого електрода.Під дією тиску плівка деформується, тим самим змінюючи ємність конденсатора, а її чутливість приблизно пропорційна площі та тиску плівки та обернено пропорційна натягу плівки та відстані від плівки до нерухомого електрода. .Інший тип фіксованого електрода має увігнуту сферичну форму, а діафрагма являє собою площину натягу, закріплену по периферії.Діафрагма може бути виготовлена методом пластикового золота.Цей тип підходить для вимірювання низького тиску та має високу перевантажувальну здатність.Один ємнісний датчик тиску також може бути виготовлений з діафрагми з рухомим полюсом поршня для вимірювання високого тиску.Цей тип зменшує площу прямого стиснення діафрагми, тому для покращення чутливості можна використовувати тоншу діафрагму.Він також інтегрований з різними секціями компенсації та захисту та схемами підсилення для покращення здатності проти перешкод.Цей датчик підходить для динамічного вимірювання високого тиску та телеметрії літаків.Одноємнісні датчики тиску також доступні у вигляді мікрофона (тобто типу мікрофона) і типу стетоскопа.
Електрод діафрагми тиску диференційного ємнісного датчика тиску розташований між двома нерухомими електродами, утворюючи два конденсатори.Під дією тиску ємність одного конденсатора збільшується, а іншого відповідно зменшується, а результат вимірювання виводиться диференціальним контуром.Його нерухомий електрод складається з позолоченого шару на увігнутій вигнутій скляній поверхні.Діафрагма захищена від розриву увігнутою поверхнею при перевантаженні.Диференціальні ємнісні датчики тиску мають вищу чутливість і кращу лінійність, ніж одноємнісні датчики тиску, але їх важче обробляти (особливо для забезпечення симетрії), і вони не можуть досягти ізоляції газу або рідини, що підлягає вимірюванню, тому вони не підходять для роботи в рідинах з корозійними речовинами або домішками.
Час публікації: 19 червня 2023 р